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- 010 __ |a 7-04-018299-8 |d CNY48.00
- 100 __ |a 20060630d2006 em y0chiy0120 ea
- 200 1_ |a 半导体集成电路制造技术 |A ban dao ti ji cheng dian lu zhi zao ji shu |d Microfabrication Technology of Semiconductor Integrated Circuits |f 张亚非等编著 |z eng
- 210 __ |a 北京 |c 高等教育出版社 |d 2006
- 215 __ |a 390页 |c 图表 |d 24cm
- 300 __ |a “长江学者”学术著作出版资助项目
- 330 __ |a 本书根据半导体集成电路的基本原理和内部结构以及版图设计,通过半导体材料制备、化学清洗、薄膜沉积、NP掺杂、光刻、金属化处理、生产整合与自动化等工艺整合,讲解集成电路的制造技术。
- 510 1_ |a Microfabrication Technology of Semiconductor Integrated Circuits |z eng
- 606 0_ |a 半导体集成电路 |x 集成电路工艺 |x 高等学校 |j 教材
- 701 _0 |a 张亚非 |A zhang ya fei |4 编著
- 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20081015
- 905 __ |a HDUL |d TN430.5/111