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- 010 __ |a 978-7-121-28022-1 |d CNY128.00
- 100 __ |a 20180502d2018 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a 等离子体放电与材料工艺原理 |A deng li zi ti fang dian yu cai liao gong yi yuan li |d = Principles of plasma discharges and materials processing |f (美) Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 |g 蒲以康等译 |z eng
- 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2018
- 215 __ |a 28, 536页 |c 图 |d 26cm
- 225 2_ |a 经典译丛 |A jing dian yi cong |i 微电子学
- 306 __ |a 由美国John Wiley & Sons公司授权
- 314 __ |a 责任者Lieberman规范汉译姓: 力伯曼 ; 责任者Lichtenberg规范汉译姓: 里登伯格
- 314 __ |a Michael A. Lieberman，男，教授，分别于1962年和1966年从麻省理工学院获得学士和博士学位。1966年起执教于加利福尼亚大学伯克利分校电机系，从事等离子体方面的教学和科研。1971年获得伯克利分校的杰出教学奖。Lieberman教授是APS，AAAS，IEEE，AVS和IOP会士，他是国际上公认的低温等离子体领域权威人士之一，与Lichtenberg教授合著的本书也成为低温等离子体领域广泛使用的教材和科研用书。
- 314 __ |a Allan J. Lichtenberg，男，教授，于1952年从哈佛大学获得学士学位，1957年从麻省理工学院获得硕士学位，1961年从牛津大学获得博士学位。1957年起执教于加利福尼亚大学伯克利分校电机系。Lichtenberg教授是国际著名的高温等离子体、等离子体放电和非线性动力学领域的先驱，在相关领域发表了约150篇文章并撰写多本著作，其中包括Phase-Space Dynamics of Particles，该书已有俄文译本。
- 320 __ |a 有书目 (第520-531页)
- 330 __ |a 本书共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。
- 333 __ |a 本书可供等离子体物理领域的研究生以及从事集成电路和光电技术领域的科技研发人员参考学习。
- 410 _0 |1 2001 |a 经典译丛 |i 微电子学
- 500 10 |a Principles of plasma discharges and materials processing |A Principles of plasma discharges and materials processing |m Chinese
- 606 0_ |a 等离子体 |A deng li zi ti |x 放电
- 701 _1 |a 力伯曼 |A li bo man |g (Lieberman, Michael A. ) |4 著
- 701 _1 |a 里登伯格 |A li deng bo ge |g (Lichtenberg, Allan J. ) |4 著
- 702 _0 |a 蒲以康 |A pu yi kang |4 译
- 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20180504
- 905 __ |a HDUL |d O53/426