机读格式显示(MARC)

• 000 01370nam 2200325 450

• 001 0000914813

• 005 20231116121400.0

• 010 __ |a 978-7-04-060468-9 |b 精装 |d CNY99.00

• 100 __ |a 20230926d2023 em y0chiy50 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a af z 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a MEMS压力传感器理论与技术 |A MEMS ya li chuan gan qi li lun yu ji shu |d = Theories and technologies of MEMS pressure sensors |f 蒋庄德等著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 高等教育出版社 |d 2023

• 215 __ |a 358页, [26] 页图版 |c 图 |d 27cm

• 225 2_ |a 先进制造与智能制造前沿技术丛书 |A xian jin zhi zao yu zhi neng zhi zao qian yan ji shu cong shu

• 225 2_ |a 机械工程前沿著作系列 |A ji xie gong cheng qian yan zhu zuo xi lie

• 300 __ |a “十四五”国家重点出版物出版规划项目

• 306 __ |a 国家科学技术著作出版基金资助出版

• 330 __ |a 本书共13章, 主要内容包括: 绪论、MEMS压力传感器基础理论、MEMS压力传感器硅微工艺、SOI耐高温阻式压力传感器、微型压力传感器、高频压力传感器、谐振式压力传感器等。

• 410 _0 |1 2001 |a 先进制造与智能制造前沿技术丛书

• 410 _0 |1 2001 |a 机械工程前沿著作系列

• 510 1_ |a Theories and technologies of MEMS pressure sensors |z eng

• 606 0_ |a 压力传感器 |A ya li chuan gan qi

• 690 __ |a TP212 |v 5

• 701 _0 |a 蒋庄德 |A jiang zhuang de |f 1955- |4 著

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20231116

• 905 __ |a HDUL |d TP212/402

• 920 __ |a 233030 |z 1