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• 010 __ |a 978-7-118-06365-3 |d CNY68.00

• 100 __ |a 20090605d2010 em y0chiy0121 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微光机电系统 |A wei guang ji dian xi tong |d Micro-opto-electro-mechanical systems |f (美) Manouchehr E. Motamedi著 |g 周海宪, 程云芳译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2010

• 215 __ |a xviii, 510页 |c 图 |d 23cm

• 314 __ |a 责任者Motamedi规范汉译姓: 莫塔麦迪

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书首先介绍集成电路的短暂历史和微加工的发展。然后对MEMS和微光学以及两种技术组合后的发展潜力进行回顾和评述。

• 510 1_ |a Micro-opto-electro-mechanical systems |z eng

• 606 0_ |a 微光技术 |A wei guang ji shu |x 应用 |x 机电系统

• 690 __ |a TH-39 |v 4

• 701 _1 |a 莫塔麦迪 |A mo ta mai di |g (Motamedi, Manouchehr E.) |4 著

• 702 _0 |a 周海宪 |A zhou hai xian |4 译

• 702 _0 |a 程云芳 |A cheng yun fang |4 译

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20100531

• 905 __ |a HDUL |d TH-39/445

• 920 __ |a 233030 |z 1