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• 200 1_ |a 微机电系统基础 |A wei ji dian xi tong ji chu |d = Foundations of MEMS |e 英文版 |f (美)Chang Liu著 |z eng

• 205 __ |a 影印版

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2008

• 215 __ |a 17,530页 |d 24cm

• 225 2_ |a 经典原版书库 |A Jing dian yuan ban shu ku

• 305 __ |a Pearson Education Asia Ltd.授权出版

• 330 __ |a 本书全面论述了微机电系统(MEMS)的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面。同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文，还提炼出了四个典型的传感器实例：惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器，并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法。

• 410 _0 |1 2001 |a 经典原版书库

• 510 1_ |a Foundations of MEMS |z eng

• 606 0_ |a 微电机 |A Wei dian ji |j 英文

• 610 0_ |a 微机电系统 |A Wei ji dian xi tong |a MEMS |A MEMS

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 701 _1 |c (美) |a Liu |b Chang |4 著

• 701 _0 |c (美) |a 刘昶 |A liu chang |4 著

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20080523

• 905 __ |a HDUL |d TM38/030

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