机读格式显示(MARC)

• 000 01035nam2 2200289 4500

• 001 0000172936

• 005 20051116092319.0

• 010 __ |a 7-5025-6548-5 |d CNY44.00

• 100 __ |a 20050907d2005 em y0chiy0110 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a y z 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微电子化学技术基础 |A wei dian zi hua xue ji shu ji chu |9 wei dian zi hua xue ji shu ji chu |f 刘玉岭, 李薇薇, 周建伟编

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2005.7

• 215 __ |a 401页 |d 26cm

• 300 __ |a 高等学校教材

• 330 __ |a 本书介绍了超大规模集成电路相关的化学技术，内容涉及硅材料及硅化合物化学性质、衬底加工、环境净化、净化水的制备、净洗技术、硅气相外延等。

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 化学 |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 701 _0 |a 刘玉岭 |A liu yu ling |9 liu yu ling |4 编

• 701 _0 |a 李薇薇 |A li wei wei |9 li wei wei |4 编

• 701 _0 |a 周建伟 |A zhou jian wei |9 zhou jian wei |4 编

• 801 _0 |a CN |b ZL |c 20050907

• 902 __ |a 1 |c 20050907 |b 20050907-1

• 905 __ |a HIEL |d TN4/012

• 999 __ |a 23 |b 6 |e 05342