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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微传感器、微机电系统和灵巧器件 |A wei zhuan gan qi wei ji dian xi tong hu ling qiao qi jian |f 加德纳(Julian W.Gardner)等著

• 205 __ |a 影印版

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2004.3

• 215 __ |a 503页 |c 图表 |d 23cm

• 300 __ |a 国际知名大学原版教材·信息技术学科与电气工程学科系列

• 304 __ |a 本书其它著者有：( )Vijay K.Varadan、( )Osama O.Awadelkarim。

• 305 __ |a 由John Wiley & Sons,Icn.授权出版

• 320 __ |a 本书附有索引

• 330 __ |a 本书系统介绍微传感器技术，并将微传感器、微机电系统和灵巧器件有机结合起来，适合微电子领域的高年级学生和研究人员、微传感器系统方面的工程师和开发人员阅读。

• 510 1_ |a Microsensors, MEMS, and Smart Devices |z eng

• 606 0_ |a 微型 |A wei xing |x 传感器 |x 高等学校 |j 教材 |j 英文

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji |x 高等学校 |j 教材 |j 英文

• 606 0_ |a 微型 |A wei xing

• 606 0_ |a 传感器 |A zhuan gan qi

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji

• 690 __ |a TP212 |v 4

• 701 _0 |a 加德纳(Julian W.Gardner) |A jia de na (Julian W.Gardner |4 著

• 801 _0 |a CN |b CEPC |c 20040603

• 905 __ |a HIEL |d TP212/422

• 999 __ |a 23 |b 6 |b 5 |e 05104