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• 010 __ |a 7-121-01987-6 |d CNY68.00

• 100 __ |a 20051231d2005 em y0chiy0110 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 110000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 硅超大规模集成电路式工艺技术 |d Silicon VLSI Technology |e Fundamentals, Practice and Modeling |A gui chao dai gui mu ji cheng dian lu shi gong yi ji zhu |9 gui chao da gui mo ji cheng dian lu shi gong yi ji shu |e 理论、实践与模型 |E li lun shi jian yu mo xing |f （美）James D.Plummer, Michael D.Deal, Peter B.Griffin著 |g 严利人，王玉东，熊小义等译

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2005.12

• 215 __ |a 17,618页 |d 27cm

• 225 2_ |a 国外电子与通信教材系列 |A guo wai dian zi yu tong xin jiao cai ji lie

• 306 __ |a 电子工业出版社和Pearson Education培生教育出版亚洲有限公司合作出版

• 330 __ |a 本书不仅介绍了与超大规模集成电路芯片生产制造相关的实际工艺技术，而且着重讲解了这些工艺技术背后的科学原理。特别是对于每一步单项工艺技术，书中都通过工艺模型和工艺模拟软件，直观地给出了实际工艺过程的物理图像。

• 461 _0 |1 2001 |a 国外电子与通信教材系列

• 510 1_ |a Silicon VLSI Technology |e Fundamentals, Practice and Modeling |z eng

• 606 0_ |a 硅 |A gui |x 超大规模集成电路 |x 技术 |j 教材

• 610 0_ |a VLSI |A VLS

• 690 __ |a TN47 |v 4

• 701 _1 |a 普卢默 |A pu lu mo |9 pu lu mo |b J. D. |4 著

• 701 A1 |a Plummer |A Plumme |b James D. |4 著

• 701 _1 |a Deal |A Dea |b Michael D. |4 著

• 701 _1 |a Griffin |A Griffi |b Peter B. |4 著

• 702 _0 |a 严利人 |A yan li ren |9 yan li ren |4 译

• 702 _0 |a 王玉东 |A wang yu dong |9 wang yu dong |4 译

• 702 _0 |a 熊小义 |A xiong xiao yi |9 xiong xiao yi |4 译

• 801 _0 |a CN |b ZL |c 20051231

• 902 __ |a 1 |c 20051231 |b 20051231-2

• 905 __ |a HIEL |d TN47/826.2/2

• 999 __ |a 22 |b 3 |e 06029