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- 010 __ |a 978-7-04-050478-1 |b 精装 |d CNY69.00
- 100 __ |a 20181227d2018 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a MEMS技术及应用 |A MEMS ji shu ji ying yong |d = Technologies and applications of MEMS |f 蒋庄德等著 |z eng
- 210 __ |a 北京 |c 高等教育出版社 |d 2018
- 215 __ |a 318页 |c 图 |d 27cm
- 225 2_ |a 先进制造科学与技术丛书 |A xian jin zhi zao ke xue yu ji shu cong shu
- 300 __ |a 高等学校教材 机械工程前沿著作系列
- 314 __ |a 蒋庄德,男,中国工程院院士,西安交通大学教授,英国伯明翰大学博士、名誉教授,澳大利亚新南威尔士大学客座教授;教育部科学技术委员会副主任兼战略研究指导委员会主任等职,发表学术论文600余篇。
- 330 __ |a 本书讨论的主题是微机电系统(MEMS)这一前沿的交叉学科。作者通过对MEMS技术的主要方面:结构、材料、工艺、设计、测量进行系统论述,并随之以对MEMS典型应用的分类介绍,为读者勾勒出当前微机电系统的发展全貌。作为对主体内容的补充和延伸,纳机电系统和石墨烯在本书的结尾部分被予以专门的讨论。为MEMS专业课程提供适用的本科和研究生教材是本书的出发点,为达此目的,本书在内容安排上注意做到基础理论知识和具体技术细节并重,力图体现作者对MEMS专业方向学生的培养理念和教学思路。
- 410 _0 |1 2001 |a 先进制造科学与技术丛书
- 510 1_ |a Technologies and applications of MEMS |z eng
- 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji
- 701 _0 |a 蒋庄德 |A jiang zhuang de |4 著
- 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20190410
- 905 __ |a HDUL |d TM38/402