机读格式显示(MARC)

• 000 01170nam0 2200301 450

• 001 0000642869

• 005 20161117091500.0

• 010 __ |a 978-7-5603-5109-4 |d CNY48.00

• 100 __ |a 20160602d2016 em y0chiy50 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 230000

• 105 __ |a ak a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微机电系统 (MEMS) 工艺基础与应用 |A wei ji dian xi tong (MEMS) gong yi ji chu yu ying yong |d MEMS technology foundation and application |f 邱成军, 曹姗姗, 卜丹编著 |z eng

• 210 __ |a 哈尔滨 |c 哈尔滨工业大学出版社 |d 2016

• 215 __ |a 301页 |c 图 |d 23cm

• 300 __ |a “十二五”国家重点图书

• 320 __ |a 有书目 (第299-301页)

• 330 __ |a 本书共分为10章，主要内容有：MEMS系统简介，MEMS相关力学基础，体硅加工工艺，表面微加工工艺，硅片键合工艺，LIGA技术，MEMS传感器，MES执行器，MEMS的封装，MEMS的应用及检测技术。

• 510 1_ |a MEMS technology foundation and application |z eng

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TM38 |v 5

• 701 _0 |a 邱成军 |A qiu cheng jun |4 编著

• 701 _0 |a 曹姗姗 |A cao shan shan |4 编著

• 701 _0 |a 卜丹 |A bu dan |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 浙江省新华书店集团公司 |c 20160602

• 905 __ |a HDUL |d TM38/753

• 920 __ |a 233030 |z 1