机读格式显示(MARC)
- 000 01351oam2 2200337 450
- 010 __ |a 978-7-5641-1575-3 |d CNY50.00
- 100 __ |a 20090504d2009 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a MEMS可靠性 |A mems ke kao xing |d Reliability of MEMS |f (日)O. Tabata,T. Tsuchiya著 |g 宋竞[等]译 |z eng
- 210 __ |a 南京 |c 东南大学出版社 |d 2009
- 215 __ |a 247页 |c 图 |d 24cm
- 304 __ |a 译者还有:尚金堂、唐洁影、黄庆安。
- 305 __ |a 本书中文简体字翻译版由WILEY-VCH授权出版
- 314 __ |a 责任者Tabata规范汉译姓:田畑;责任者Tsuchiya规范汉译姓:土屋
- 330 __ |a 本书是国际上MEMS可靠性领域第一本专著,共分为两部分。第一部分论述MEMS材料的可靠性内容及主要表征方法,包括MEMS材料的可靠性,微纳压痕仪,鼓胀测试,弯曲测试,单轴张应力测试,片上测试;第二部分论述MEMS器件的可靠性,包括压力传感器可靠性,惯性传感器可靠性,RFMEMS可靠性和光MEMS可靠性。
- 461 _0 |1 2001 |a 微纳系统系列译丛
- 510 1_ |a Reliability of MEMS |z eng
- 701 _0 |c (日) |a 田畑 |A tian tian |c (Tabata, O.) |4 著
- 701 _0 |c (日) |a 土屋 |A tu wu |c (Tsuchiya, T.) |4 著
- 702 _0 |a 宋竞 |A song jing |4 译
- 801 _0 |a CN |b CEPC |c 20090504
- 905 __ |a HDUL |d TN4/690