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- 010 __ |a 978-7-312-02233-3 |d CNY88.00
- 100 __ |a 20091009d2009 em y0chiy0110 ea
- 200 1_ |a SOI——纳米技术时代的高端硅基材料 |A SOI——na mi ji shu shi dai de gao duan gui ji cai liao |d SOI: advanced silicon-based materials for the nanotechnology era |f 林成鲁编著 |z eng
- 210 __ |a 合肥 |c 中国科学技术大学出版社 |d 2009
- 225 2_ |a 当代科学技术基础理论与前沿问题研究丛书 |A Dang Dai Ke Xue Ji Shu Ji Chu Li Lun Yu Qian Yan Wen Ti Yan Jiu Cong Shu
- 330 __ |a 本书收集了纳米技术时代的高端硅基SOI材料方面的研究论文40篇,主要内容包括:SOI——纳米技术时代的高端硅基材料进展、SOI新材料的制备科学、SOI材料与器件特有的物理效应、绝缘体上锗硅新结构和应变硅的制备科学、SOI技术的若干应用研究等。
- 461 _0 |1 2001 |a 当代科学技术基础理论与前沿问题研究丛书
- 462 _0 |1 2001 |a 中国科学技术大学校友文库
- 510 1_ |a SOI: advanced silicon-based materials for the nanotechnology era |z eng
- 540 1_ |a 纳米技术时代的高端硅基材料 |A na mi ji shu shi dai de gao duan gui ji cai liao
- 606 0_ |a 硅 |A Gui |x 纳米材料 |j 文集
- 701 _0 |a 林成鲁 |A lin cheng lu |4 编著
- 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20131101
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