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• 005 20151112090700.0

• 010 __ |a 978-7-03-044494-3 |d CNY29.00

• 100 __ |a 20150826d2015 em y0chiy50 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a ak a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微电子制造技术实验教程 |A wei dian zi zhi zao ji shu shi yan jiao cheng |f 王姝娅 ... [等] 编著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2015

• 215 __ |a 152页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 微电子专业实验教材系列丛书 |A wei dian zi zhuan ye shi yan jiao cai xi lie cong shu

• 300 __ |a “电子信息材料与器件国家级实验教学示范中心”系列规划教材 教育部“卓越工程师教育培养计划”系列教材

• 304 __ |a 题名页题: 王姝娅, 戴丽萍, 钟志亲, 王刚, 杜江锋编著

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本教材是面向微电子及相关专业的实验教程，以微电子器件制造过程为主线，重点阐述学生在微电子制造技术学习中必须掌握的基础知识和实验方法。第1、2章介绍清洗、氧化、扩散、离子注入、光刻、刻蚀、沉积等相关制造工艺的基础知识和基础实验，详细阐述各项单步工艺的实验原理、实验设备、实验方法和步骤。第3章介绍微电子器件制造过程中的物理性能测试实验和电学性能测试实验。第4章介绍二极管、肖特基二极管、三极管、CMOS管、集成电阻器等器件的制造以及集成运算放大器的参数测试、逻辑IC功能和参数的测试两个综合实验。

• 333 __ |a 可作为高等院校微电子及相关专业的实验教材，也可作为教师和一般微电子制造工程技术人员的参考资料。

• 410 _0 |1 2001 |a 微电子专业实验教材系列丛书

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 实验 |j 教材

• 690 __ |a TN4-33 |v 5

• 701 _0 |a 王姝娅 |A wang shu ya |4 编著

• 701 _0 |a 戴丽萍 |A dai li ping |4 编著

• 701 _0 |a 钟志亲 |A zhong zhi qin |4 编著

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20151112

• 905 __ |a HDUL |d TN4-33/144

• 920 __ |a 233030 |z 1