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• 010 __ |a 978-7-81133-238-4 |d CNY30.00

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微机电系统与微细加工技术 |A wei ji dian xi tong yu wei xi jia gong ji shu |f 朱荻[等]编

• 210 __ |a 哈尔滨 |c 哈尔滨工程大学出版社 |d 2008

• 215 __ |a 227页 |c 图 |d 23cm

• 300 __ |a 国防科工委“十五”规划教材 机械工程

• 304 __ |a 编者还有：云乃彰、汪炜、曲宁松。

• 306 __ |a 与北京理工大学出版社、西北工业大学出版社、哈尔滨工业大学出版社、北京航空航天大学出版社合作出版。

• 320 __ |a 本书第225-227页附有书目

• 330 __ |a 本书对微机电系统技术和微细加工技术进行了介绍。全书共分五章，包括微机电系统和微细加工技术的发展趋势，对微机电系统原理和设计、微细加工技术、相关的检测技术以及微机电系统的应用等内容进行了介绍和讨论。

• 606 0_ |a 微电子技术 |x 高等学校 |j 教材

• 606 0_ |a 特种加工 |x 技术 |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 701 _0 |a 朱荻 |A zhu di |4 编

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20090319

• 905 __ |a HDUL |d TM38/240

• 920 __ |a 233030 |z 1