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- 200 1_ |a 半导体工艺与测试实验 |A ban dao ti gong yi yu ce shi shi yan |b 专著 |f 谢德英[等]编
- 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2015
- 215 __ |a 182页 |c 图 |d 26cm
- 300 __ |a 国家级物理实验教学示范中心系列教材 中山大学物理学实验系列教程
- 330 __ |a 本书内容包括半导体工艺的6个主要单项实验、半导体材料特性表征与器件测试实验、工艺和器件特性仿真实验,并通过综合流程实验整合各单项实验知识和技能,着重培养学生的半导体器件的综合设计能力。
- 606 0_ |a 半导体工艺 |A Ban Dao Ti Gong Yi |x 实验 |x 高等学校 |j 教材
- 701 _0 |a 谢德英 |A xie de ying |4 编
- 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20160120
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