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• 200 1_ |a 微机电系统机械学 |A wei ji dian xi tong ji xie xue |f 张向军编著

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2012.9

• 215 __ |a 157页 |c 图 |d 23cm

• 300 __ |a 清华大学微机电系统工程系列教材

• 330 __ |a 本书论述了微机电系统的力学原理基础及其规律，内容主要针对机械系统的特征尺度降低到微米和纳米量级时出现的主导作用力及各种微观效应。本书重点揭示了微机电系统的表界面效应、微尺度表面力的来源与作用规律、微构件在各种微尺度表面力作用下的变形、接触与运动规律，以及微纳米间隙和管道中的流体特性、驱动原理和流动规律，并结合典型的微机电系统阐述了应用实例。

• 510 1_ |a Mechanics fundamentals of MEMS |z eng

• 606 0_ |a 微电机 |A Wei Dian Ji |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TM38 |v 5

• 701 _0 |a 张向军 |A zhang xiang jun |4 编著

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20140103

• 905 __ |a HDUL |d TM38/123

• 920 __ |a 233030 |z 1