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• 010 __ |a 978-7-122-45124-8 |b 精装 |d CNY158.00

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• 200 1_ |a 原子层沉积制造技术及生物传感应用 |A yuan zi ceng chen ji zhi zao ji shu ji sheng wu zhuan gan ying yong |d Atomic layer deposition manufacturing technology and biosensing applications |f 刘磊著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2024

• 215 __ |a 224页 |c 图 |d 24cm

• 330 __ |a 本书共分七章，主要内容包括原子层沉积(ALD)技术的基本原理、特点、系统和工作模式，聚焦于ALD技术的拓展，涉及了ALD在摩擦、电磁、噪声、量子和生物传感器领域的应用，介绍了该技术在生物医学检测领域的前沿发展，在阐明ALD技术基本原理的同时，介绍其在前沿领域的先进性和实际应用。

• 510 1_ |a Atomic layer deposition manufacturing technology and biosensing applications |z eng

• 606 0_ |a 纳米技术 |A Na Mi Ji Shu |x 应用 |x 生物传感器 |x 研究

• 690 __ |a TB303 |v 5

• 701 _0 |a 刘磊 |A liu lei |4 著

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20240528

• 905 __ |a HDUL |d TB303/0101

• 920 __ |a 233030 |z 1