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- 000 01066nam0 2200277 450
- 010 __ |a 978-7-118-11793-6 |d CNY79.00
- 100 __ |a 20190110d2018 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a 激光等离子体极紫外光刻光源 |A ji guang deng li zi ti ji zi wai guang ke guang yuan |f 窦银萍, 宋晓伟, 陶海岩著
- 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2018
- 215 __ |a 112页 |c 图 |d 21cm
- 320 __ |a 有书目 (第104-112页)
- 330 __ |a 本书首先介绍了用于光刻的激光等离子体极紫外光源的国内外发展现状,并阐述了激光等离子体光源的相关理论。其次介绍了用于6.7nm光源探测的平像场光栅光谱仪的设计、搭建及标定。最后,详细介绍了工作波长6.7nm极紫外光源离子碎屑特性及其阻挡的实验研究结果。
- 606 0_ |a 激光 |A ji guang |x 等离子体 |x 紫外线 |x 离子刻蚀
- 701 _0 |a 窦银萍 |A dou yin ping |4 著
- 701 _0 |a 宋晓伟 |A song xiao wei |4 著
- 701 _0 |a 陶海岩 |A tao hai yan |4 著
- 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20190401
- 905 __ |a HDUL |d TN305.7/384