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• 200 1_ |a 微系统原理与技术 |A wei xi tong yuan li yu ji shu |9 wei xi tong yuan li yu ji shu |f 傅建中, 胡旭晓编著

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2005.3

• 215 __ |a 223页 |d 24cm

• 330 __ |a 本书系统阐述了微系统技术的基本概念、原理和特点；全面介绍了微系统设计技术、微制造技术、微系统检测技术、微系统集成与控制技术和典型微系统——芯片实验室技术。

• 510 1_ |a Microsystems |e Theory and Technology |z eng

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 701 _0 |a 傅建中 |A fu jian zhong |9 fu jian zhong |4 编著

• 701 _0 |a 胡旭晓 |A hu xu xiao |9 hu xu xiao |4 编著

• 801 _0 |a CN |b ZL |c 20050324

• 905 __ |a HIEL |d TM38/215

• 999 __ |a 23 |b 5 |e 05208