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- 010 __ |a 978-7-03-032103-9 |d CNY50.00
- 100 __ |a 20110921d2011 em y0chiy0121 ea
- 200 1_ |a 微纳系统技术与应用 |A wei na xi tong ji shu yu ying yong |f 姚军, 汪为民编著
- 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2011
- 215 __ |a 216页 |c 图 |d 24cm
- 225 2_ |a 微纳技术著作丛书 |A wei na ji shu zhu zuo cong shu
- 330 __ |a 本书系统阐述了微纳结构与系统的知识,主要包括微纳系统的基本概念、所用材料、加工方法、在多学科交叉领域的具体应用等。另外,本书还详细探讨了微纳系统领域内一些热点研究方向的最新成果,包括MEMS空间光调制器、MEMS开关、光纤传感器、气体传感器等,并按照设计、加工、测试、封装这一完整流程阐述了研发的方法和技巧,通过实例对各个研发环节的实践经验进行了简明介绍。
- 410 _0 |1 2001 |a 微纳技术著作丛书
- 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu
- 701 _0 |a 姚军 |A yao jun |4 编著
- 701 _0 |a 汪为民 |A wang wei min |4 编著
- 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20120229
- 856 4_ |u http://www.zxhsd.com/kgsm/ts/2011/09/15/2076420.shtml
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