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• 010 __ |a 978-7-111-25575-8 |d CNY30.00

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• 200 1_ |a 微电子机械系统力学性能及尺寸效应 |A wei dian zi ji xie xi tong li xue xing neng ji chi cun xiao ying |f 刘凯，韩光平著

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2009

• 215 __ |a 209页 |c 图 |d 21cm

• 320 __ |a 本书第192-209页附有书目

• 330 __ |a 全书共分9章，分析了MEMS的特征及其近期发展；详细分析了尺寸效应的内涵；建立尺寸效应泛函的分析模型；研究了单晶硅微桥式梁弯曲强度的尺寸效应及分布规律，建立QFD／TRIZ／FUZZY集成技术模型；研究MEMS残余应力；对静电致动微泵的结构建立数学分析模型和有限元分析；对微机械振动式陀螺的动力学特性进行了分析，得到了微机械陀螺驱动模态固有频率和检测模态固有频率随其主要结构尺寸变化的规律。

• 606 0_ |a 微电子技术

• 690 __ |a TN405 |v 4

• 701 _0 |a 刘凯 |A liu kai |f (1957～) |4 著

• 701 _0 |a 韩光平 |A han guang ping |4 著

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20090522

• 905 __ |a HDUL |d TN405/020

• 920 __ |a 233030 |z 1