机读格式显示(MARC)

• 000 00963nas 2200032545 450

• 001 0000250555

• 005 20140320150100.0

• 011 __ |a 1003-8213

• 091 __ |a CN |b 43-1140

• 092 __ |a CN |b 457

• 100 __ |a 19941011a19839999km y0chiy0121 eb

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 430100

• 106 __ |a r

• 110 __ |a ahaz 0yb0

• 200 1_ |a 微细加工技术 |A Wei Xi Jia Gong Ji Shu |d = Micro Fabrication Technolocy |z eng |f 电子工业部第四十八研究所

• 207 _0 |a 1983,no.1(1983.9)- =总1-

• 210 __ |a 长沙 |c 电子工业部第四十八研究所 |d 1983-

• 215 __ |a v. |d 26cm

• 300 __ |a 1983,no.1为创刊号。

• 326 __ |a 季刊 |b 1983-

• 430 _1 |1 2001 |a 半导体工艺设备

• 510 1_ |a Micro Fabrication Technolocy

• 540 1_ |a Wei Xi Jia Gong Ji Shu |A Wei Xi Jia Gong Ji Shu

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 711 02 |a 电子工业部第四十八研究所 |A Dian Zi Gong Ye Bu Di 48 Yan Jiu Suo |4 编辑

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20081013

• 905 __ |a HDUL |d TN4/W1

• 920 __ |a 233030 |z 1