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• 010 __ |a 978-7-5605-7265-9 |b 精装 |d CNY80.00

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• 200 1_ |a MEMS惯性传感器技术 |A MEMS guan xing chuan gan qi ji shu |d = MEMS inertial sensor technology |f 张志英编著 |z eng

• 210 __ |a 西安 |c 西安交通大学出版社 |d 2016

• 215 __ |a [18], 263页 |c 图 |d 25cm

• 330 __ |a 本书从MEMS惯性传感器的基本概念出发，介绍了MEMS惯性传感器的术语、分类、功能及作用原理；简述了MEMS惯性传感器的敏感极性和参数计算及其调整；给出了企业制造MEMS角速率陀螺的两个企业标准；介绍了一单轴较大量程MEMS硅角速率陀螺的制造工艺；介绍了MEMS惯性传感器的测试项目、测试方法及环境试验；也从性能参数出发阐述了MEMS惯性传感器的选择原则，并介绍了国内外可供选择的MEMS惯性传感器产品及其他像光纤陀螺、激光陀螺、垂直陀螺等惯性传感器产品；特列了33个作者牵头自行研制的不同量程型号的MEMS硅角速率陀螺使用说明书及其注释和国内外22个MEMS石英角速率陀螺技术条件及其注释；又从MEMS惯性传感器的应用角度讲述了MEMS惯性传感器应用的技术领域、MEMS角速率陀螺的应用特点和MEMS惯性传感器的安装要求；还对十余年来MEMS惯性传感器在各技术领域中典型的应用实例进行了一些解析；最后，介绍了MEMS惯性传感器的测试仪器和设备。

• 510 1_ |a MEMS inertial sensor technology |z eng

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 惯性传感器 |x 研究

• 690 __ |a TP212.4 |v 5

• 701 _0 |a 张志英, |A zhang zhi ying |f 1942- |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 浙江省新华书店集团公司 |c 20170313

• 905 __ |a HDUL |d TP212.4/144

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