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• 000 01149nam 2200325 450

• 001 0000524233

• 005 20140916132900.0

• 010 __ |a 978-7-03-039974-8 |b 精装 |d CNY88.00

• 100 __ |a 20140410d2014 em y0chiy50 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a ak a 001yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微机电系统 (MEMS) 制造技术 |A wei ji dian xi tong ( MEMS ) zhi zao ji shu |f 苑伟政, 乔大勇著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2014

• 215 __ |a 240页 |c 图 |d 25cm

• 225 2_ |a 微纳制造的基础研究学术著作丛书 |A wei na zhi zao de ji chu yan jiu xue shu zhu zuo cong shu

• 300 __ |a 国家科学技术学术著作出版基金资助出版

• 312 __ |a 英文题名取自封面

• 320 __ |a 有书目和索引

• 330 __ |a 本书介绍了MEMS制造技术的定义、发展历程和发展趋势 ; MEMS制造的材料基础 ; MEMS制造中的沾污及洁净技术等内容。

• 410 _0 |1 2001 |a 微纳制造的基础研究学术著作丛书

• 510 1_ |a Micro nano manufacturing |z eng

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji |x 生产工艺

• 690 __ |a TM380.5 |v 5

• 701 _0 |a 苑伟政 |A yuan wei zheng |4 著

• 701 _0 |a 乔大勇 |A qiao da yong |4 著

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20140916

• 905 __ |a HDUL |d TM380.5/421

• 920 __ |a 233030 |z 1