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• 200 1_ |a 多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器 |A duo jing gui na mi bao mo ya zu shi ya li chuan gan qi |f 陆学斌著

• 210 __ |a 北京 |c 北京大学出版社 |d 2023

• 215 __ |a 160页 |c 图 |d 23cm

• 320 __ |a 有书目 (第147-160页)

• 330 __ |a 本书对多晶硅纳米薄膜的压阻特性及其在压力传感器上的应用进行了研究。本书共分5章, 第1章主要介绍多晶硅纳米薄膜及压力传感器的研究现状, 第2章主要介绍工艺条件对多晶硅纳米薄膜特性的影响, 第3章主要研究多晶硅纳米薄膜的杨氏模量, 第4章主要研究多晶硅纳米薄膜的压力传感器应用, 第5章主要介绍多晶硅纳米薄膜压力传感器的测试与分析。

• 606 0_ |a 多晶 |A duo jing |x 纳米材料 |x 薄膜 |x 硅压力传感器

• 690 __ |a TP212 |v 5

• 701 _0 |a 陆学斌 |A lu xue bin |4 著

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20231020

• 905 __ |a HDUL |d TP212/790

• 920 __ |a 233030 |z 1