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• 010 __ |a 978-7-121-30499-6 |d CNY79.00

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• 101 1_ |a chi |c eng

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a MEMS与微系统 |A MEMS yu wei xi tong |e 设计、制造及纳尺度工程 |f (美) 徐泰然著 |d = MEMS and microsystems |e design, manufacture, and nanoscale engineering |f Tai-Ran Hsu |g 梁仁荣, 刘立滨等译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2017

• 215 __ |a 18, 367页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 国外电子与通信教材系列 |A guo wai dian zi yu tong xin jiao cai xi lie

• 305 __ |a 据原书第2版译出

• 306 __ |a 由John Wiley & Sons, Inc.授权出版

• 314 __ |a 责任者规范汉译姓:

• 320 __ |a 有书目 (第357-367页)

• 330 __ |a 本书首先对纳米技术的发展历史做了一个简要的回顾，然后对各种纳米结构在工程设计方面的基本原理做了详细的介绍，包括形成纳米结构的制造技术、基于分子动力学的工程设计原理以及纳尺度材料中的流体流动与热传导特性等。

• 410 _0 |1 2001 |a 国外电子与通信教材系列

• 500 10 |a MEMS and microsystems : design, manufacture, and nanoscale engineering |A Mems And Microsystems : Design, Manufacture, And Nanoscale Engineering |m Chinese

• 517 1_ |a 设计、制造及纳尺度工程 |A she ji、zhi zao ji na chi du gong cheng

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji |j 教材

• 690 __ |a TM38 |v 5

• 701 _0 |a 徐泰然 |A xu tai ran |g (Hsu, Tai-Ran) |4 著

• 702 _0 |a 梁仁荣 |A liang ren rong |4 译

• 702 _0 |a 刘立滨 |A liu li bin |4 译

• 801 _0 |a CN |b 浙江省新华书店集团公司 |c 20170317

• 905 __ |a HDUL |d TM38/252

• 920 __ |a 233030 |z 1