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- 010 __ |a 978-7-5606-3335-0 |d CNY50.00
- 100 __ |a 20140922d2014 em y0chiy0110 ea
- 200 1_ |a 微机电技术 |A wei ji dian ji shu |b 专著 |d Micro electro mechanical technology |f 田文超,娄利飞编著 |z eng
- 210 __ |a 西安 |c 西安电子科技大学出版社 |d 2014
- 215 __ |a 412页 |c 图 |d 23cm
- 225 1_ |a 新兴微纳电子技术丛书 |A Xin Xing Wei Na Dian Zi Ji Shu Cong Shu
- 300 __ |a “十二五”国家重点图书出版规划项目 陕西出版资金资助项目 西安电子科技大学研究生精品教材建设工程资助 西安电子科技大学教材立项资助
- 330 __ |a 本书介绍了微机电技术基本内容、分析方法和主要应用,包括微机电系统概述、材料、工艺、典型器件、应用,RF MEMS及重构天线,MEMS力学问题等。
- 510 1_ |a Micro electro mechanical technology |z eng
- 606 0_ |a 微电机 |A Wei Dian Ji |x 研究生 |j 教材
- 701 _0 |a 田文超 |A tian wen chao |4 编著
- 701 _0 |a 娄利飞 |A lou li fei |4 编著
- 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20150409
- 905 __ |a HDUL |d TM38/604