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• 000 01333nam 2200325 450

• 001 0000508574

• 005 20140514142500.0

• 010 __ |a 978-7-111-40657-0 |d CNY69.00

• 100 __ |a 20130326d2013 em y0chiy50 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a ak a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微机电系统基础 |A wei ji dian xi tong ji chu |d Foundations of MEMS |f (美) Chang Liu著 |g 黄庆安译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2013.2

• 215 __ |a xiii, 397页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 国外电子电气经典教材系列 |A guo wai dian zi dian qi jing dian jiao cai xi lie

• 305 __ |a 据原书第2版译出

• 306 __ |a 由Pearson Education (培生教育出版集团) 授权出版

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书全面论述了微机电系统(MEMS)的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面，同是引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文，为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提练了四个典型的传感器实例：惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器，并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法。

• 410 _0 |1 2001 |a 国外电子电气经典教材系列

• 500 10 |a Foundations of MEMS |A Foundations Of Mems |m Chinese

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji |j 教材

• 690 __ |a TM38 |v 5

• 701 _0 |a 刘昶 |A liu chang |4 著

• 702 _0 |a 黄庆安 |A huang qing an |4 译

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20140514

• 905 __ |a HDUL |d TM38/030/2

• 920 __ |a 233030 |z 1