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• 010 __ |a 978-7-111-28597-7 |b 精装 |d CNY63.00

• 100 __ |a 20091020d2010 em y0chiy0121 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 110000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微机电系统设计与加工 |A wei ji dian xi tong she ji yu jia gong |d = MEMS design and fabrication |f (美) Mohamed Gad-el-Hak编 |g 张海霞, 赵小林等译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2010

• 215 __ |a x, 536页, [4] 页图版 |c 图 (部分彩图) |d 27cm

• 225 2_ |a 国际机械工程先进技术译丛 |A guo ji ji xie gong cheng xian jin ji shu yi cong

• 314 __ |a 责任者Gad-el-Hak规范汉译姓: 盖德

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书内容包括: MEMS中的材料, MEMS制造, LIGA及其微模压, 基于X射线的加工, EFAB技术及其应用, 单晶SiC MEMS制造、特性与可靠性, 用于碳化硅体微加工的等离子体反应深刻蚀, 聚合物微系统: 材料和加工, 光诊断方法考察微流道的入口长度, 应用于航空航天的微化学传感器, 恶劣环境下的MEMS器件封装技术, 纳机电系统制造技术, 分子自组装基本概念及应用。

• 410 _0 |1 2001 |a 国际机械工程先进技术译丛

• 500 10 |a MEMS design and fabrication |m Chinese

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji |x 系统设计

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji |x 加工

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 701 _1 |a 盖德 |A gai de |g (Gad-el-Hak, Mohamed) |4 编

• 702 _0 |a 张海霞 |A zhang hai xia |4 译

• 702 _0 |a 赵小林 |A zhao xiao lin |4 译

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20110413

• 905 __ |a HDUL |d TM38/820

• 920 __ |a 233030 |z 1