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- 010 __ |a 978-7-03-038996-1 |b 精装 |d CNY135.00
- 100 __ |a 20131217d2014 em y0chiy0110 ea
- 200 1_ |a 射频微机电系统的理论、设计、制备及应用 |A she pin wei ji dian xi tong de li lun、she ji、zhi bei ji ying yong |b 专著 |f 张海霞,缪旻,方东明著
- 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2014.01
- 215 __ |a 10,416页 |c 图 |d 25cm
- 225 2_ |a 微纳制造的基础研究学术著作丛书 |A Wei Na Zhi Zao De Ji Chu Yan Jiu Xue Shu Zhu Zuo Cong Shu
- 300 __ |a 中国科学院科学出版基金资助出版
- 330 __ |a 本书系统地论述了微机电系统中射频元器件的物理模型、等效电路、性能表征和实验结果,并详细论述了射频微机电系统元器件结构设计和制备方法。本书聚集在射频微机电系统元器件的设计、加工和测试,创新内容较多。
- 461 _0 |1 2001 |a 微纳制造的基础研究学术著作丛书
- 606 0_ |a 微电子技术 |A Wei Dian Zi Ji Shu |x 射频系统 |x 研究
- 701 _0 |a 张海霞 |A zhang hai xia |4 著
- 701 _0 |a 缪旻 |A miao min |4 著
- 701 _0 |a 方东明 |A fang dong ming |4 著
- 801 _0 |a CN |b 浙江省新华书店集团公司 |c 20131217
- 905 __ |a HDUL |d TN4/131