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• 200 1_ |a 薄膜材料制备原理、技术及应用 |A bo mo cai liao zhi bei yuan li ji shu ji ying yong |f 唐伟忠著

• 205 __ |a 2版

• 210 __ |a 北京 |c 冶金工业出版社 |d 2003.1

• 215 __ |a 10,323页 |c 图 |d 20cm

• 330 __ |a 本书以薄膜材料为中心，介绍了薄膜技术中常用的真空技术基础知识，各种物理和化学气相沉积技术和方法，薄膜材料的形核及生长理论，等。

• 606 0_ |a 薄膜制品 |A bo mo zhi pin |x 制备

• 606 0_ |a 薄膜制品 |A bo mo zhi pin

• 690 __ |a TQ320.72 |v 4

• 701 _0 |a 唐伟忠 |A tang wei zhong |4 著

• 801 _0 |a CN |b JG |c 20030828

• 905 __ |a HIEL |d TQ320.72/025

• 999 __ |a 23 |b 4 |e 06172