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• 005 20221024101500.0

• 010 __ |a 978-7-03-072489-2 |d CNY88.00

• 100 __ |a 20220704d2022 em y0chiy50 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 110000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 高温SiC MEMS传感器的热电特性 |A gao wen SiCMEMS chuan gan qi de re dian te xing |f (澳) 丁东安, 阮南中, 陶宗越著 |d Thermoelectrical effect in SIC for high-temperature MEMS sensors |f Toan Dinh, Nam-Trung Nguyen, Dzung Viet Dao |g 王兴华 ... [等] 译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2022

• 215 __ |a x, 133页 |c 图 (部分彩图) |d 24cm

• 304 __ |a 题名页题: 王兴华, 刘文宝, 刘红卫, 李兴冀译

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书主要介绍了碳化硅 (SiC) 传感器在高温下热电特性的研究进展。本书可分为三部分, 共七章。第一部分从单层SiC和多层SiC的热阻效应、热电效应、热电子效应和热电容效应等物理效应方面来介绍SiC的热电特性; 第二部分介绍了SiC的诸多重要特征以及SiC MEMS的制造流程, 总结了SiC传感器、热流传感器和对流惯性传感器的最新进展; 第三部分论述了SiC热电传感器的应用前景。

• 500 10 |a Thermoelectrical effect in SIC for high-temperature MEMS sensors |A Thermoelectrical effect in SIC for high-temperature MEMS sensors |m Chinese

• 606 0_ |a 碳化硅热敏电阻器 |A tan hua gui re min dian zu qi |x 研究

• 606 0_ |a 微机电系统 |A wei ji dian xi tong |x 传感器 |x 热电效应 |x 研究

• 690 __ |a TM54 |v 5

• 701 _0 |a 丁东安 |A ding dong an |g (Dinh, Toan) |4 著

• 701 _0 |a 阮南中 |A ruan nan zhong |g (Nguyen, Nam-Trung) |4 著

• 701 _0 |a 陶宗越 |A tao zong yue |g (Dao, Dzung Viet) |4 著

• 702 _0 |a 王兴华 |A wang xing hua |4 译

• 702 _0 |a 刘文宝 |A liu wen bao |4 译

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20221024

• 905 __ |a HDUL |d TM54/143

• 920 __ |a 233030 |z 1