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• 010 __ |a 978-7-5612-7676-1 |d CNY69.00

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微机电系统 |A wei ji dian xi tong |f 苑伟政, 乔大勇, 虞益挺编著

• 205 __ |a 第2版

• 210 __ |a 西安 |c 西北工业大学出版社 |d 2021

• 215 __ |a 341页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 微机电系统工程系列教材 |A wei ji dian xi tong gong cheng xi lie jiao cai

• 300 __ |a “十二五”普通高等教育本科国家级规划教材 工业和信息化部“十四五”规划教材

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 全书分为6章, 分别介绍了MEMS发展历程, MEMS理论基础, MEMS基本工艺技术, MEMS设计技术, 以及典型微器件与微系统和微测试技术。在介绍微加工工艺方面, 本书结合大量工艺实例, 易于学生理解, 有助于提高其动手能力; 对各种典型微机电器件的介绍, 大部分来源于实验室的课题研究实例, 内容充实新颖。

• 410 _0 |1 2001 |a 微机电系统工程系列教材

• 606 0_ |a 微机电系统 |A wei ji dian xi tong |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TM380.5 |v 5

• 701 _0 |a 苑伟政 |A yuan wei zheng |4 编著

• 701 _0 |a 乔大勇 |A qiao da yong |4 编著

• 701 _0 |a 虞益挺 |A yu yi ting |4 编著

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20221018

• 905 __ |a HDUL |d TM380.5/421/2

• 920 __ |a 233030 |z 1