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• 000 01165nam2 2200313 4500

• 001 0000160311

• 005 20050516155650.0

• 005 20041209135452.0

• 010 __ |a 7-121-00422-4 |d CNY59.00

• 100 __ |a 20040802d2004 em y0chiy0110 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a y z 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微系统设计 |A wei xi tong she ji |d = Microsystem Design |9 wei xi tong she ji |f (美)森图里亚(Stephen D. Senturia)著 |g 刘泽文等译

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2004.11

• 215 __ |a 14,453页 |d 26cm

• 225 1_ |a 国外电子与通信教材系列 |A guo wai dian zi yu tong xin jiao cai xi lie

• 305 __ |a Kluwer Academic Publishers授权出版

• 330 __ |a 本书介绍涉及微机电系统设计的方法、理论和技术，涉及MEMS制作工艺和封装技术、MEMS器件的建模和模拟等，并辅助于实例研究。

• 510 1_ |a Microsystem Design |z eng

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji |j 教材

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 701 _0 |c (美) |a 森图里亚 |A sen tu li ya |9 sen tu li ya |c (Senturia, Stephen D.) |4 著

• 702 _0 |a 刘泽文 |A liu ze wen |9 liu ze wen |c (电子) |4 译

• 801 _0 |a CN |b NLC |c 20041210

• 905 __ |a HIEL |d TM38/466

• 999 __ |a 24 |b 6 |e 05155