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- 010 __ |a 978-7-5661-3167-6 |d CNY40.00
- 100 __ |a 20220302d2021 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a 反应性气体等离子体理论及应用研究 |A fan ying xing qi ti deng li zi ti li lun ji ying yong yan jiu |f 刘相梅著
- 210 __ |a 哈尔滨 |c 哈尔滨工程大学出版社 |d 2021
- 215 __ |a 122页 |c 图 |d 26cm
- 320 __ |a 有书目 (第116-122页)
- 330 __ |a 反应性气体经过电离、解离、电子吸附等过程产生正负离子、自由基等混合物, 并通过一系列复杂的化学反应产生具有化学活性的基团、纳米颗粒, 在基片表面沉积固态薄膜材料。例如, 利用硅烷放电产生的复杂等离子体, 在气相条件下合成硅量子点、纳米颗粒, 可以制备光电性能良好的新型多晶硅薄膜材料, 同时在制备光发射二极管、超高密度光学记忆储存器、生物及化学敏感元件等方面也有重要的应用。本书在此背景下对硅烷、乙炔及其混合气体放电进行系统研究。主要从低气压反应性气体放电和大气压反应性气体放电两个方面进行阐述, 并结合自己的研究成果给出其放电特性。
- 606 0_ |a 放电 |A fang dian |x 研究
- 701 _0 |a 刘相梅 |A liu xiang mei |4 著
- 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20220330
- 905 __ |a HDUL |d O461/044