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• 200 1_ |a 表面科学与薄膜技术基础 |A biao mian ke xue yu bo mo ji shu ji chu |d Fundamentals of surface science and thin film technology |f 张永平主编 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2022

• 215 __ |a 184页 |c 图 |d 24cm

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 现代半导体技术和先进材料研发的进步, 促进薄膜材料和制备技术快速发展, 要求薄膜制备技术和薄膜结构有精细控制, 需要了解表面与薄膜方面的基本物理知识。本书着重介绍表面与薄膜相关的基本概念、基本原理, 帮助理解掌握薄膜技术的基本知识, 为工作和科研打下良好基础。本书内容包括真空物理基础、表面科学基础、薄膜物理基础、薄膜生长技术、薄膜结构、表面和薄膜分析技术, 以及几种常见的薄膜材料。

• 510 1_ |a Fundamentals of surface science and thin film technology |z eng

• 606 0_ |a 金属表面处理 |A jin shu biao mian chu li

• 606 0_ |a 薄膜技术 |A bo mo ji shu

• 690 __ |a TG17 |v 5

• 701 _0 |a 张永平 |A zhang yong ping |4 主编

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20221206

• 905 __ |a HDUL |d TG17/131

• 920 __ |a 233030 |z 1