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• 010 __ |a 978-7-5024-7442-3 |d CNY28.00

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a NEMS传感器的研制与应用 |A NEMSchuan gan qi de yan zhi yu ying yong |d = Preparation of NEMS sensor and its application |f 谭苗苗著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 冶金工业出版社 |d 2017

• 215 __ |a 109页 |c 图 |d 24cm

• 314 __ |a 谭苗苗, 工学博士, 北京联合大学机械工程及自动化系副主任。

• 320 __ |a 有书目 (第103-109页)

• 330 __ |a 本书概述了NEMS传感器的结构类型、加工工艺类型和常用的测试方案, 并针对国内外NEMS传感器研究取得的研究成果和发展现状进行了总结分析 ; 针对NEMS传感器比较常见的场效应晶体管结构, 详细阐述了两种不同的一维纳米结构组装NEMS器件的工艺方法, 以及器件电路结构加工工艺等。

• 510 1_ |a Preparation of NEMS sensor and its application |z eng

• 606 0_ |a 机电系统 |A ji dian xi tong |x 传感器 |x 研究

• 690 __ |a TM7 |v 5

• 701 _0 |a 谭苗苗 |A tan miao miao |4 著

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20171206

• 905 __ |a HDUL |d TM7/344

• 920 __ |a 233030 |z 1