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• 000 00875oam2 2200265 450

• 001 0000349640

• 005 20091221141700.0

• 010 __ |a 978-7-5606-2223-1 |d CNY30.00

• 100 __ |a 20090702d2009 em y0chiy0110 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 610000

• 105 __ |a a z 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微机电系统(MEMS)原理、设计和分析 |A wei ji dian xi tong (MEMS) yuan li、she ji he fen xi |f 田文超著

• 210 __ |a 西安 |c 西安电子科技大学出版社 |d 2009

• 215 __ |a 250页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 青年学术文库

• 330 __ |a 本书比较全面地介绍了MEMS的基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、设计方法、加工工艺、表面特性、检测技术、主要应用以及COMSOL软件、MEMS仿真模块。

• 461 _0 |1 2001 |a 青年学术文库

• 606 0_ |a 微电子技术

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 701 _0 |a 田文超 |A tian wen chao |4 著

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20091221

• 905 __ |a HDUL |d TN4/604

• 920 __ |a 233030 |z 1