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• 200 1_ |a 集成电路工艺实验 |f 谭永胜，方泽波主编

• 210 __ |a 成都 |c 电子科技大学出版社 |d 2015.04

• 215 __ |a 85页 |c 图 |d 26cm

• 330 __ |a 本书按一个完整的半导体集成电路工艺过程作用来分配，将各种集成电路单项工艺分为清洗、薄膜沉积、掺杂和图形转移等几类。各部分内容是以提取重要的、有重复性和代表性的工序排成的试验项目。

• 333 __ |a 集成电路实验人员

• 606 0_ |a 集成电路工艺 |x 实验

• 690 __ |a TN405-33 |v 5

• 701 _0 |a 谭永胜 |4 主编

• 701 _0 |a 方泽波 |4 主编