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题名/责任者:

半导体薄膜技术与物理/叶志镇[等]编著

出版发行项:

杭州:浙江大学出版社,2008

ISBN及定价:

978-7-308-06617-4/CNY36.00

载体形态项:

278页:图;24cm

并列正题名:

Physics and technology of semiconductor thin films

个人责任者:

叶志镇 编著

学科主题:

半导体膜-薄膜

中图法分类号:

TN304.055

题名责任附注:

著者还有：吕建国、吕斌、张银珠

提要文摘附注:

本书介绍了半导体薄膜的各种制备技术及其相关的物理基础，包括真空技术、蒸发、溅射、化学气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、液相外延等内容。

电子资源:

http://www.bookuu.com/kgsm/ts/2009/03/24/1490689.shtml

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