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MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:50

题名/责任者:
微机电系统机械学/张向军编著
出版发行项:
北京:清华大学出版社,2012.9
ISBN及定价:
978-7-302-30017-5/CNY25.00
载体形态项:
157页:图;23cm
并列正题名:
Mechanics fundamentals of MEMS
个人责任者:
张向军 编著
学科主题:
微电机-高等学校-教材
中图法分类号:
TM38
一般附注:
清华大学微机电系统工程系列教材
提要文摘附注:
本书论述了微机电系统的力学原理基础及其规律,内容主要针对机械系统的特征尺度降低到微米和纳米量级时出现的主导作用力及各种微观效应。本书重点揭示了微机电系统的表界面效应、微尺度表面力的来源与作用规律、微构件在各种微尺度表面力作用下的变形、接触与运动规律,以及微纳米间隙和管道中的流体特性、驱动原理和流动规律,并结合典型的微机电系统阐述了应用实例。
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索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 还书位置
TM38/123 71871597  - 自然科学第二书库(7F)     可借 现代技术部(1F)
TM38/123 71871598  - 自然科学第二书库(7F)     可借
TM38/123 71871599  - 自然科学第二书库(7F)     可借
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