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首记录 上一条 1 / 5 下一条 尾记录 MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:56

题名/责任者:
硅片加工技术/康自卫, 王丽主编
出版发行项:
北京:化学工业出版社,2010
ISBN及定价:
978-7-122-09058-4/CNY30.00
载体形态项:
240页:图;26cm
丛编项:
太阳能光伏产业—硅材料系列教材
个人责任者:
康自卫 主编
个人责任者:
王丽 主编
学科主题:
半导体工艺-教材
中图法分类号:
TN305
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
本书主要从实际工艺的角度对硅片生产全过程进行了介绍,包括硅单晶的基本特性和晶体结构,硅片生产设备的种类、性能及其使用方法,硅单晶从滚磨与开方、切割、研磨、抛光、清洗一直到检验包装的整个生产过程与管理,其中针对太阳能硅片的生产有适当的介绍。
电子资源:
http://www.bookuu.com/kgsm/ts/2010/09/11/1824318.shtml
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态
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