MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：142
- 题名/责任者:
- 微机电系统基础:英文版/(美)Chang Liu著
- 版本说明:
- 影印版
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2008
- ISBN及定价:
- 978-7-111-23167-7/CNY59.00
- 载体形态项:
- 17,530页;24cm
- 并列正题名:
- Foundations of MEMS
- 丛编项:
- 经典原版书库
- 个人责任者:
- (美) Liu Chang 著
- 个人责任者:
- (美) 刘昶 著
- 学科主题:
- 微电机-英文
- 中图法分类号:
- TM38
- 版本附注:
- Pearson Education Asia Ltd.授权出版
- 提要文摘附注:
- 本书全面论述了微机电系统(MEMS)的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面。同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文，还提炼出了四个典型的传感器实例：惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器，并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TM38/030 | 71248732 | - |  文一密集（批次1）（非可借）
|
非可借 | 文一密集（批次1）（非可借） |
| TM38/030 | 71248731 | - | 样本书阅览室（密集书库136）
|
非可借 | |
| TM38/030 | 71248733 | - | 自然科学第二书库（7F）
|
可借 | 总借还书处（2F） |
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