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题名/责任者:

半导体集成电路的可靠性及评价方法/章晓文, 恩云飞编著

出版发行项:

北京:电子工业出版社,2015

ISBN及定价:

978-7-121-27160-1/CNY88.00

载体形态项:

XV, 394页:图;24cm

丛编项:

可靠性技术丛书

个人责任者:

章晓文 编著

个人责任者:

恩云飞 编著

学科主题:

半导体集成电路-可靠性-评价

中图法分类号:

TN43

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书共11章, 以硅集成电路为中心, 重点介绍了半导体集成电路及其可靠性的发展演变过程、集成电路制造的基本工艺、半导体集成电路的主要失效机理、可靠性数学、可靠性测试结构的设计、MOS场效应管的特性、失效机理的可靠性仿真和评价。

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