- 题名/责任者:
- 半导体薄膜技术基础/李晓干, 刘勐, 王奇编著
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2018
- ISBN及定价:
- 978-7-121-32880-0/CNY49.00
- 载体形态项:
- 140页:图;26cm
- 丛编项:
- 微电子与集成电路设计系列规划教材
- 个人责任者:
- 李晓干 编著
- 个人责任者:
- 刘勐 编著
- 个人责任者:
- 王奇 编著
- 学科主题:
- 半导体薄膜技术-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TN304.055
- 书目附注:
- 有书目 (第134-140页)
- 提要文摘附注:
- 本书对当前主要应用的薄膜技术及相关设备进行了深入浅出的介绍，主要包括作为最重要的半导体衬底的硅单晶材料学、薄膜基础知识、PVD技术、CVD技术及其他相关的薄膜加工技术，在对各种技术进行介绍的同时，还对各种技术所应用的设备进行简要介绍。本书提供配套电子课件。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN304.055/461 | 72225762 | - |  自然书库（3F东）
|
可借 | 现代技术部（1F） |
| TN304.055/461 | 72225763 | - | 自然书库（3F东）
|
可借 | 总借还书处（2F） |
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