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题名/责任者:

直拉硅单晶生长过程数值模拟与工艺优化/刘丁著

出版发行项:

北京:科学出版社,2020

ISBN及定价:

978-7-03-066706-9 精装/CNY228.00

载体形态项:

xiii, 315页:图 (部分彩图);25cm

个人责任者:

刘丁 著

学科主题:

直拉硅单晶-晶体生长-过程模拟-研究

中图法分类号:

TN304.053

出版发行附注:

国家科学技术学术著作出版基金资助出版

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书在概述硅单晶发展前景、主要生长设备及关键工艺的基础上，介绍直拉硅单晶生长过程数值模拟方法、工艺流程与参数设置、热系统设计与制造等方面的内容；从介观层面阐述多物理场耦合作用对晶体生长的影响，并给出关键工艺参数选取方法；提出一系列结合变量检测、智能优化及先进控制技术的硅单晶工艺研究理论和工程实现方法。

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