- 题名/责任者:
- 多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器/陆学斌著
- 出版发行项:
- 北京:北京大学出版社,2023
- ISBN及定价:
- 978-7-301-33905-3/CNY68.00
- 载体形态项:
- 160页:图;23cm
- 个人责任者:
- 陆学斌 著
- 学科主题:
- 多晶-纳米材料-薄膜-硅压力传感器
- 中图法分类号:
- TP212
- 书目附注:
- 有书目 (第147-160页)
- 提要文摘附注:
- 本书对多晶硅纳米薄膜的压阻特性及其在压力传感器上的应用进行了研究。本书共分5章, 第1章主要介绍多晶硅纳米薄膜及压力传感器的研究现状, 第2章主要介绍工艺条件对多晶硅纳米薄膜特性的影响, 第3章主要研究多晶硅纳米薄膜的杨氏模量, 第4章主要研究多晶硅纳米薄膜的压力传感器应用, 第5章主要介绍多晶硅纳米薄膜压力传感器的测试与分析。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TP212/790 | 72564058 |  自然书库（3F东）
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可借 | 自然书库（3F东） | |
| TP212/790 | 72564059 | 自然书库（3F东）
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可借 | 自然书库（3F东） | |
| TP212/790 | 72564060 | 自然书库（3F东）
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可借 | 自然书库（3F东） |
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