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题名/责任者:

半导体制造工艺控制理论/王少熙 ... [等] 著

出版发行项:

西安:西北工业大学出版社,2018

ISBN及定价:

978-7-5612-5953-5/CNY49.00

载体形态项:

170页;26cm

个人责任者:

王少熙 著

个人责任者:

郑然 著

个人责任者:

阴玥 著

学科主题:

半导体工艺

中图法分类号:

TN305

题名责任附注:

题名页题: 王少熙, 郑然, 阴玥, 游海龙著

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书从工序能力指数、统计过程控制和实验优化设计三个方面展开，详细讲述三种技术的常规理论和特殊应用方法和模型，并结合具体半导体制造工艺提出解决方案。本书共6章，第1章阐述半导体制造工艺控制理论概念和背景；第2章阐述单变量工序能力指数；第3章阐述多变量工序能力指数；第4章阐述常规过程控制技术；第5章阐述特殊过程控制技术；第6章给出实验设计及工艺表征的理论及应用。

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