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题名/责任者:

微机电系统（MEMS）设计和原型设计指南/(美) Joel A. Kubby著 李会丹, 袁晓伟, 王景中译

出版发行项:

北京:国防工业出版社,2014

ISBN及定价:

978-7-118-09690-3/CNY69.00

载体形态项:

134页:图;24cm

统一题名:

Guide to hands-on MEMS design and prototyping

丛编项:

高新科技译丛.微机电系列

个人责任者:

库比 (Kubby, Joel A.) 著

个人次要责任者:

李会丹 译

个人次要责任者:

袁晓伟 译

个人次要责任者:

王景中 译

学科主题:

微电机-系统设计-指南

中图法分类号:

TM380.2

一般附注:

装备科技译著出版基金

责任者附注:

责任者Kubby规范汉译姓: 库比

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

在本书中描述和分析了大量的设计案例，涉及领域包括微观力学、电磁学、光学MEM、热学MEMS和流体MEMS等。其中有一章专门介绍MEMS器件的封装和测试；此外，在本书每章的最后，都描述了MEMS设计的实践和挑战，并提供了相关的解决方案。

使用对象附注:

微电子机械设计人员，相关专业高年级本科生和研究生及相关读者。

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