MARC状态:已编 文献类型:西文图书 浏览次数:22
- 题名/责任者:
- Materials and Processes for Microelectronic Systems Symposium on Materials and Processes for Microelectronic Systems
- 出版发行项:
- Westerville ACS c1990
- ISBN:
- 0-944904-31-9
- 载体形态项:
- 733c22cm
- 中图法分类号:
- TN04-53
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